【摘要】 本发明公开了一种制作微元件的方法。该方法有两种，其一包括如下步骤： 1)在基底表面制作环化橡胶负性光刻胶层；2)在环化橡胶负性光刻胶层上制作 环氧基负性光刻胶层；3)进行光刻，得到微元件。另一种包括如下步骤：i)先 在基底表面沉积电镀金属层；ii)在金属层表面制作环化橡胶负性光刻胶层；iii) 在环化橡胶负性光刻胶层上制作环氧基负性光刻胶层；iv)光刻，得到具有三维 微结构的器件；v)在具有三维微结构的器件上镀金属；vi)去除剩余的环氧基 负性光刻胶和环化橡胶负性光刻胶，得到微元件。本发明的制作微元件的方法中 使用环化橡胶负性光刻胶避免出现环氧基负性光刻胶在基底表面的龟裂和剥离。 【专利类型】发明申请 【申请人】博奥生物有限公司; 清华大学 【申请人类型】企业,学校 【申请人地址】102206北京市昌平区生命科学园路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】昌平区 【申请号】CN200810118652.X 【申请日】2008-08-21 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101654217A 【公开公告日】2010-02-24 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101654217B 【授权公告日】2011-09-14 【授权公告年份】2011.0 【发明人】于中尧; 张瑶; 杨栈茨 【主权项内容】1、一种制作微元件的方法，包括如下步骤： 1)在基底表面制作环化橡胶负性光刻胶层； 2)在所述环化橡胶负性光刻胶层上制作环氧基负性光刻胶层； 3)进行光刻，得到微元件。 【当前权利人】博奥生物集团有限公司; 清华大学 【当前专利权人地址】北京市昌平区生命科学园路18号; 北京市海淀区清华园 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400000624D 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
