【摘要】 本发明公开一种基于气体放电光谱分析的气体传感器及其检测气体的方法，传感器包括极化电极、栅格电极、带通滤光片和光敏装置，栅格电极、带通滤光片处于极化电极和光敏装置之间，栅格电极与极化电极之间的气体间隙构成放电区域，栅格电极具有镂空的结构，能够使放电区域内外的气体连通；带通滤光片能够选择性地使得放电区域由目标气体产生的特征光辐射通过；光敏装置仅能够接收由目标气体产生的特征辐射，并且能够将其转换为电信号；通过检测光敏装置的电信号输出，可定性或者定量地对目标气体的成分与浓度进行分析。该传感器能够集成化地片上制造，能够形成片上化、阵列化、微型化的气体放电光谱分析装置。 【专利类型】发明授权 【申请人】上海交通大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】200240 上海市闵行区东川路800号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】闵行区 【申请号】CN200810042478.5 【申请日】2008-09-04 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101408514B 【公开公告日】2010-08-18 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101408514B 【授权公告日】2010-08-18 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01N21/67 【发明人】侯中宇; 蔡炳初; 张亚非; 徐东 【主权项内容】一种基于气体放电光谱分析的气体传感器，其特征在于，包括极化电极、栅格电极、带通滤光片和光敏装置，栅格电极、带通滤光片处于极化电极和光敏装置之间，栅格电极与极化电极之间的气体间隙构成放电区域，栅格电极具有镂空的结构，能够使放电区域内外的气体连通；带通滤光片能够选择性地使得放电区域由目标气体产生的特征光辐射通过；光敏装置仅能够接收由目标气体产生的特征辐射，并且能够将其转换为电信号；栅格电极和带通滤光片布置于两个不同的基片上，两者之间存在气体间隙且光敏装置和带通滤光片也布置于两个不同的基片上，两者之间存在气体间隙，或者：栅格电极和带通滤光片布置于一个基片上且光敏装置和带通滤光片也布置于一个基片上；在极化电极面向栅格电极一侧表面，布置有导体性或者半导体性的一维纳米材料或者准一维纳米材料作为极化电极的电极材料；当所述的极化电极由原位制造工艺制备时，极化电极电极材料与基片没有金属层；当所述的极化电极不是由原位制造工艺制备时，则极化电极电极材料与基片之间布置有单层或多层的金属层。 【当前权利人】上海交通大学 【当前专利权人地址】上海市闵行区东川路800号 【统一社会信用代码】1210000042500615X0 【引证次数】6.0 【被引证次数】2 【自引次数】4.0 【他引次数】2.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】4
