【摘要】 一种微机电系统领域的圆形及多环形轴向充磁永磁反磁敏感质量微加速度 计，由上定子、转子和下定子构成，依靠上、下定子中的圆柱形及多环形轴向 充磁永磁体对反磁转子提供悬浮力和侧向稳定力，实现无控制自稳起支悬浮， 同时又利用上、下定子的轴向检测及反馈电极和下定子侧向检测及反馈电极与 转子之间静电力来提高微加速度计的轴向刚度、侧向刚度和抗冲击能力，增强 稳定悬浮性能，降低了转子的起支过程和起支控制难度，不需要复杂控制机构 即可实现自稳定，功耗小、实现方便，尺寸小，可以同时检测包括沿X、Y、Z轴 的三轴线加速度以及绕X、Y轴二轴角加速度。 【专利类型】发明授权 【申请人】上海交通大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】200240上海市闵行区东川路800号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】闵行区 【申请号】CN200810032470.0 【申请日】2008-01-10 【申请年份】2008 【公开公告号】CN100588971C 【公开公告日】2010-02-10 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN100588971C 【授权公告日】2010-02-10 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01P15/14; G01C19/24; H02N15/00; B81B7/02; G01P15/18 【发明人】张卫平; 陈文元; 刘武; 张忠榕 【主权项内容】1.一种圆形及多环形轴向充磁永磁反磁敏感质量微加速度计，由上定子(1)、 下定子(2)和转子(3)构成，上定子(1)倒扣在下定子(2)上，转子(3) 则悬浮在上定子(1)和下定子(2)形成的空腔内，其特征在于： 所述下定子(2)包括下定子侧向检测及反馈电极(6)、下定子公共电容极 板(4)、下定子轴向检测及反馈控制电极(5)、下定子基体(7)、下定子圆柱形 轴向充磁永磁体(8)、多个下定子环形轴向充磁永磁体(9)，在下定子基体(7) 的顶面上由内而外依次分布着下定子公共电容极板(4)、下定子轴向检测及反馈 电极(5)、下定子侧向检测及反馈电极(6)；在下定子基体(7)的底面，下定 子圆柱形轴向充磁永磁体(8)位于下定子基体(7)表面几何结构的中线位置， 而下定子环形轴向充磁永磁体(9)则以下定子基体表面几何结构的中线位置为 圆心从内向外依次布置，相邻两个环形轴向充磁永磁体紧密嵌套配合，下定子圆 柱形轴向充磁永磁体(8)紧密嵌套在圆环内半径最小的环形轴向充磁永磁体中， 下定子(2)相邻永磁体同一端面的磁极性相异； 所述上定子(1)包括上定子基体(12)、上定子公共电容极板(10)和上定 子轴向检测及反馈电极(11)、上定子圆柱形轴向充磁永磁体(14)、上定子环形 轴向充磁永磁体(13)，在上定子基体(12)的底面，上定子圆柱形轴向充磁永 磁体(14)位于上定子基体(12)表面几何结构的中线位置，而多个上定子环形 轴向充磁永磁体(13)则以上定子基体(12)表面几何结构的中线位置为圆心从 内向外依次布置，相邻两个环形轴向充磁永磁体紧密嵌套配合，上定子圆柱形轴 向充磁永磁体(14)紧密嵌套在圆环内半径最小的环形轴向充磁永磁体中，上定 子(1)相邻的永磁体同一端面的磁极性相异，在上定子基体(12)的顶面上由 内而外依次分布着上定子公共电容极板(10)和上定子轴向检测及反馈电极(11)， 上定子基体(12)的顶面与下定子基体(7)的顶面面对面相对布置； 所述转子(3)圆周边缘与下定子轴向检测及反馈电极(5)和上定子轴向检 测及反馈电极(11)的外圆弧边缘在竖直方向上对齐，该转子(3)是一个圆盘 形结构，包括转子上表面层(15)、转子中间反磁结构层(16)、转子下表面层(17)， 在转子中间反磁结构层(16)的上、下表面分别覆盖着转子上表面层(15)和转 子下表面层(17)。 【当前权利人】上海交通大学 【当前专利权人地址】上海市闵行区东川路800号 【统一社会信用代码】1210000042500615X0 【引证次数】3.0 【自引次数】2.0 【他引次数】1.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】3
