【摘要】 本发明提出一种测量仪器技术领域的具有误差平均效应的涡流栅绝对位置传感器，由定栅和动栅两个部分构成，在传感器动栅上至少有一个码道上的每一组传感器线圈是以串联的方式连接在一起，相邻线圈之间沿测量轴方向的距离是均匀的，每个线圈相对于定栅上敏感导体的位置是一致的，这些线圈同时参与工作，等效于一个线圈。同时，分别采用窄线圈方式或者交错线圈方式，将两组线圈的距离拉近到1/4波长，可以进一步提高测量精度。此外，采用一种三码道绝对定位方案，精码道实现位移小数精确测量，中码道实现中等精度定位，粗码道实现粗定位，并分别通过对称布局型式和双线圈方案，提高绝对定位精度，并降低工艺要求和制造成本。 【专利类型】发明授权 【申请人】上海交通大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】200240 上海市闵行区东川路800号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】闵行区 【申请号】CN200810040920.0 【申请日】2008-07-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101324420B 【公开公告日】2010-06-02 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101324420B 【授权公告日】2010-06-02 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01B7/02; G01D5/243 【发明人】赵辉; 刘伟文; 陶卫; 齐红丽 【主权项内容】微信 。一种具有误差平均效应的涡流栅绝对位置传感器，由定栅和动栅两个部分构成，在定栅上沿着测量轴方向布置至少两个码道，每个码道上布置一系列具有一定规则形状、按测量轴均匀排列的金属敏感导体，在动栅上布置与定栅数量相同的码道，每个码道上布置数个传感器线圈，其特征在于：在传感器动栅上至少有一个码道上的每一组传感器线圈是以串联的方式连接在一起，相邻传感器线圈之间沿测量轴方向的距离是均匀的，每个传感器线圈相对于定栅上金属敏感导体的位置是一致的，这些传感器线圈同时参与工作，等效于一个传感器线圈；所述传感器采用三个码道，其中一个码道波长最短，称之为精码道，其输出的相位信号用来实现位移的小数部分，小于一个精码道波长的范围，另一个码道的波长远大于精码道的波长，为精码道波长的整数倍，称之为中码道，第三个码道的波长与中码道的波长接近但不相同，称之为粗码道，测量时，粗码道和中码道的相位差将传感器位置定位在中码道的一个测量波长之内，中码道的相位信号将传感器位置定位在一个精码道测量波长之内，再计算小数，利用精码道的相位信号测量传感器的准确位置和位移量。 【当前权利人】上海交通大学 【当前专利权人地址】上海市闵行区东川路800号 【统一社会信用代码】1210000042500615X0 【引证次数】7.0 【被引证次数】8 【自引次数】4.0 【他引次数】3.0 【被自引次数】4.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】16
