【摘要】 一种微机电系统技术领域的微固体模态陀螺，包括：压电控制电极、压电传感电极、压电驱动电极、集中质量块、线性振动增强结构、弹性基体，弹性基体上设有线性振动增强结构，线性振动增强结构和弹性基体形成固定连接，弹性基体上表面设有槽，该槽内设置集中质量块，集中质量块和弹性基体形成固定连接，线性振动增强结构的上表面设有压电传感电极、压电驱动电极和压电控制电极。本发明采用弹性基体的特殊振动模态进行工作，这一方面增大了微陀螺制作材料的选择自由度，允许基体利用弹性较大的材料来制作，另一方面增加了基体材料的可微细加工性，从而有利于改善微陀螺的结构和形状，来提高陀螺的工作性能。 【专利类型】发明授权 【申请人】上海交通大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】200240 上海市闵行区东川路800号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】闵行区 【申请号】CN200810035825.1 【申请日】2008-04-10 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101261126B 【公开公告日】2010-06-02 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101261126B 【授权公告日】2010-06-02 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01C19/56; G01P9/04; G01C19/5656 【发明人】吴校生; 陈文元 【主权项内容】一种微固体模态陀螺，包括：压电控制电极、压电传感电极、压电驱动电极、集中质量块、线性振动增强结构、弹性基体，其特征在于，弹性基体上设有线性振动增强结构，线性振动增强结构和弹性基体形成固定连接，弹性基体上表面设有槽，该槽内设置集中质量块，集中质量块和弹性基体形成固定连接，线性振动增强结构的上表面设有压电传感电极、压电驱动电极和压电控制电极；所述弹性基体是个方形结构，弹性基体下表面和被测装置形成固定连接；所述压电控制电极，共有四对，分别分布在所述弹性基体四个棱边附近，每条棱边上的一对所述压电控制电极对称分布在所述压电驱动电极两侧；所述的压电传感电极共有两个，分别分布在所述弹性基体相对的两个棱边上；所述压电驱动电极共有两个，分布在所述弹性基体相对的两个棱边上，在所述压电驱动电极上以共振频率施加交变电压，使弹性基体以共振频率发生振动；所述的集中质量块共四个，分别分布在所述弹性基体的四个角上；所述的线性振动增强结构是分布在所述弹性基体上表面四个棱边附近的长条状结构。 【当前权利人】上海交通大学 【当前专利权人地址】上海市闵行区东川路800号 【统一社会信用代码】1210000042500615X0 【引证次数】7.0 【被引证次数】3 【他引次数】7.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】15
