【摘要】 本发明涉及一种太阳能电池片涂层工艺用等离子管制造方法，等离子管为等离子增强化学气相沉积管，即PECVD管，用于太阳能电池片氮化硅涂层加工工艺，按下列步骤制造：(1)选用高纯石英，通过高温电阻炉拉制出坯管，然后简单脱羟；(2)坯管由摆式定位高速切割机按所需尺寸切割；(3)将PECVD管经清洗、干燥后用自动烘口机进行烘口处理，使管子端面平整圆滑；(4)加工后的PECVD管待自然冷却后再进行清洗、干燥；(5)然后将清洗完毕后的PECVD管装入真空脱羟炉内，待真空脱羟完成后取出PECVD管，使其自然冷却。本发明取代了现有的石英玻璃管，PECVD管平均寿命为80小时以上，而价格仅为进口管的三分之一。 【专利类型】发明授权 【申请人】上海强华石英有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】200241 上海市闵行区景东路3589号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】闵行区 【申请号】CN200810033283.4 【申请日】2008-01-31 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101225513B 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101225513B 【授权公告日】2010-06-23 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C23C16/513; C23C16/52; C23C16/34 【发明人】周文华 【主权项内容】 一种太阳能电池片涂层工艺用等离子管制造方法，其特征在于，等离子管为等离子增强化学气相沉积管，即PECVD管，用于太阳能电池片氮化硅涂层加工工艺，按下列步骤制造：(1)选用高纯水晶原料，经提纯后为高纯石英，通过高温电阻炉拉制出坯管，然后简单脱羟；(2)坯管由摆式定位高速切割机按所需尺寸切割；(3)将PECVD管经清洗、干燥后用自动烘口机进行烘口处理，使管子端面平整圆滑，不缺口；(4)加工后的PECVD管待自然冷却后再进行清洗、干燥；(5)然后将清洗完毕后的PECVD管装入真空脱羟炉内，炉内工作温度1020℃～1070℃，真空度达到10-3MPa，进行真空脱羟基，全程用时15～20小时，真空脱羟基以减少PECVD管内的羟基和氢氧根(OH-)的含量，待真空脱羟完成后取出PECVD管，使其自然冷却。 【当前权利人】上海强华实业股份有限公司 【当前专利权人地址】上海市金山区漕泾镇亭卫公路3312号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】9131011283335767X5 【引证次数】2.0 【他引次数】2.0 【家族引证次数】2.0
