【摘要】 本发明涉及一种医用器械技术领域的用于透皮给药的异平面金属空心微针制作方法。本发明首先在氧化硅基片上旋涂光刻胶，经过曝光显影后露出二氧化硅窗口，刻蚀二氧化硅；其次，以二氧化硅为掩膜刻蚀硅形成倒四棱锥图形；接着溅射金属导电层，然后电镀金属层；再去除电镀的金属倒四棱锥底端，开出微流道；最后去除硅，得到异平面金属空心微针。与现有技术相比，本发明使异平面金属微针具有了微流道，而且制作工艺简单，成本低；微针容易刺入皮肤，实现了连续给药。 【专利类型】发明授权 【申请人】上海交通大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】200240 上海市闵行区东川路800号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】闵行区 【申请号】CN200810042163.0 【申请日】2008-08-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101342404B 【公开公告日】2010-04-14 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101342404B 【授权公告日】2010-04-14 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】A61M37/00; B81C1/00 【发明人】刘景全; 沈修成; 王亚军; 郭忠元 【主权项内容】一种用于透皮给药的异平面金属空心微针制作方法，其特征在于：首先在氧化硅基片上旋涂光刻胶，经过曝光显影后露出二氧化硅窗口，刻蚀二氧化硅；其次，以二氧化硅为掩膜刻蚀硅形成倒四棱锥图形；接着溅射金属导电层，然后电镀金属层；再去除电镀的金属倒四棱锥底端，开出微流道；最后去除硅，得到异平面金属空心微针。 【当前权利人】上海交通大学 【当前专利权人地址】上海市闵行区东川路800号 【统一社会信用代码】1210000042500615X0 【引证次数】6.0 【自引次数】1.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】19
