【摘要】 本发明提供一种分子束外延(MBE)技术中测量束源炉中源材料熔化时对应源炉热偶温度的测量方法。其特征在于测定步骤是测量出束源炉升温时的热偶温度—功率曲线；测量出束源炉降温时的热偶温度—功率曲线；将升温时和的热偶温度—功率曲线上源材料开始熔化的对应温度和降温时的热偶温度、功率曲线上源材料开始凝固的对应温度进行比较，从而得出源材料熔化时对应束源炉中热偶的温度。本发明是利用分子束外延设备源炉中源材料在加热熔化和降温凝固过程中功率曲线在熔化与凝固温度附近会出现相应波动的实验现象，通过分析比较波动出现的位置精确定出束源炉中源材料熔化时对应的束源炉中热偶温度数值。所提供的测定方法对MBE技术在实际中的应用具有重要的意义。 ： 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院上海微系统与信息技术研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】200050 上海市长宁区长宁路865号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】长宁区 【申请号】CN200810035446.2 【申请日】2008-04-01 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101311299B 【公开公告日】2010-11-17 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101311299B 【授权公告日】2010-11-17 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C23C14/24; C23C14/54; C30B23/02 【发明人】龚谦; 王海龙; 徐海华 【主权项内容】分子束外延技术中测量束源炉中源材料熔化时对应热偶温度数值的方法，其特征在于具体步骤是：(a)测量出束源炉升温时的热偶温度-功率曲线；升温速率为0.01～0.05℃/s。(b)测量出束源炉降温时的热偶温度-功率曲线；降温速率为0.01～0.05℃/s。(c)束源炉升温时的热偶温度-功率曲线上出现一个向上的肩峰，束源炉降温时的热偶温度-功率曲线上出现一个向下的肩峰，将升温时的热偶温度--功率曲线上源材料开始熔化的对应温度和降温时的热偶温度-功率曲线上源材料开始凝固的对应温度进行比较，从而得出源材料熔化时对应束源炉中热偶的温度； 【当前权利人】苏州焜原光电有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号 【统一社会信用代码】12100000425006790C 【引证次数】1.0 【他引次数】1.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】4
