【摘要】 本发明公开了一种单一组分钛酸锶钡光学微腔及构筑方法，该方法利用含聚乙烯吡咯烷酮的前驱体溶液，通过重复甩胶镀膜-热处理工艺，且通过不同的热处理条件对钛酸锶钡薄膜的微观结构进行调控，以构筑由钛酸锶钡布拉格反射膜层和均一相的钛酸锶钡间隔层形成的光学微腔。本发明的最大特点是：光学微腔的反射镜和间隔层均用同一种前化学溶液进行构筑；其优点是：所用设备简单，操作方便，成本低，普适性强。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院上海技术物理研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】200083 上海市玉田路500号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】虹口区 【申请号】CN200810201537.9 【申请日】2008-10-22 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101382604B 【公开公告日】2010-06-02 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101382604B 【授权公告日】2010-06-02 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G02B1/10; H01S5/10 【发明人】胡古今; 商景林; 戴宁; 张婷 【主权项内容】一种单一组分钛酸锶钡光学微腔，其特征在于：该光学微腔结构包括：钛酸锶单晶衬底，在衬底上通过化学溶液法依次生长如下结构的膜层：DBR\Spacer\DBR；上述膜层中的DBR为5-20个周期的钛酸锶钡多层介质反射膜，每层介质反射膜的厚度为60-200nm；Spacer为与DBR组分相同的、均一相的钛酸锶钡薄膜间隔层，其膜层厚度为30-100nm。 【当前权利人】中国科学院上海技术物理研究所 【当前专利权人地址】上海市玉田路500号 【统一社会信用代码】12100000425005579K 【引证次数】5.0 【自引次数】4.0 【他引次数】1.0 【家族引证次数】5.0
