【摘要】 一种真空镀膜用旋转掩膜装置包括基片架、掩膜板，基片架上开有放置所需镀膜基片用的基片槽，基片架套在转轴上，转轴的一端端部与掩膜板固接，掩膜板上设有定位孔和挡板，挡板可遮盖基片架上的基片槽，转轴上还套有固定钢柱，固定钢柱与基片架固定在一起，转轴与固定钢柱之间设有滚珠，使转轴可在固定钢柱内转动，固定钢柱上设轴向的通孔，通孔的位置与掩膜板上的定位孔相匹配，固定钢柱与掩膜板之间设有定位圆珠，定位圆珠卡在定位孔与固定钢柱的通孔间，通孔的另一端设置紧固螺栓，通孔内放置弹簧，紧固螺栓使通孔内的弹簧挤压定位圆珠。本实用新型的真空镀膜用旋转掩膜装置具有手感强、操作简便，不影响真空度及制造方便的特点。 【专利类型】实用新型 【申请人】南昌大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】330047江西省南昌市南京东路235号南昌大学理学院 【申请人地区】中国 【申请人城市】南昌市 【申请人区县】新建区 【申请号】CN200620097014.0 【申请日】2006-05-30 【申请年份】2006 【公开公告号】CN2915882Y 【公开公告日】2007-06-27 【公开公告年份】2007 【授权公告号】CN2915882Y 【授权公告日】2007-06-27 【授权公告年份】2007.0 【IPC分类号】C23C14/04; C23C14/24 【发明人】高希存 【主权项内容】1、一种真空镀膜用旋转掩膜装置包括基片架(1)、掩膜板(3)，其特征在于： 基片架(1)上开有放置所需镀膜基片用的基片槽(2)，基片架(1)套在转轴 (6)上，转轴(6)的一端端部与掩膜板(3)固接，掩膜板(3)上设有定位 孔(7)和挡板(11)，挡板(11)可遮盖基片架(1)上的基片槽(2)，转轴 (6)上还套有固定钢柱(4)，固定钢柱(4)与基片架(1)固定在一起，转 轴(6)与固定钢柱(4)之间设有滚珠，固定钢柱(4)上设轴向的通孔(5)， 通孔(5)的位置与掩膜板(3)上的定位孔(7)相匹配，固定钢柱(4)与掩 膜板(3)之间设有定位圆珠(8)，定位圆珠(8)卡在定位孔(7)与固定钢 柱(4)的通孔(5)间，通孔(5)的另一端设置紧固螺栓(10)。 【当前权利人】南昌大学 【当前专利权人地址】江西省南昌市南京东路235号南昌大学理学院 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12360000491015556U 【被引证次数】15 【被他引次数】15.0 【家族被引证次数】15
