【摘要】 一种光学镀膜装置，其包括真空镀膜室、转动轴、基板承载架及蒸镀源。所述基板承载 架与所述转动轴连接并设置在所述真空镀膜室的顶部，所述蒸镀源设置在所述真空镀膜室的 底部，一个滑槽环绕所述真空镀膜室内壁设置，基板承载架外边缘延伸一环形凸缘，该环形 凸缘伸入所述滑槽内。本发明所提供的光学镀膜装置，由于基板承载架外边缘延伸出一环形 凸缘，并伸入真空镀膜室内壁上的凹槽内，隔离了基板承载架正反面的空间，所以有效的防 止镀膜过程中，镀材污染基板承载架背面镜片表面的情况发生，从而改善镜片的镀膜品质。。 【专利类型】发明申请 【申请人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】宝安区 【申请号】CN200810302468.0 【申请日】2008-07-01 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101620279A 【公开公告日】2010-01-06 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101620279B 【授权公告日】2011-08-24 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G02B1/10; C23C14/24 【发明人】吴佳颖 【主权项内容】1.一种光学镀膜装置，其包括真空镀膜室、转动轴、基板承载架及 蒸镀源，所述基板承载架与所述转动轴连接并设置在所述真空镀膜室的顶部，所述蒸镀源设 置在所述真空镀膜室的底部，其特征在于，一个滑槽环绕所述真空镀膜室内壁设置，基板承 载架外边缘延伸一环形凸缘，该环形凸缘伸入所述滑槽内。 【当前权利人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【当前专利权人地址】广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号; 中国台湾新北市土城区中山路66号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】914403007084307436 【被引证次数】6 【被自引次数】3.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】6
