【摘要】 本发明提供一种晶圆级压印方法，其包括以下步骤：(1)待压印的基板置于机台，该 基板上具有第一压印区域，第二压印区域……第N压印区域，N为自然数；(2)涂布装置和 该机台相对移动以使该涂布装置对准一待处理的压印区域，应用该涂布装置在该压印区域涂 布压印材料；(3)使用滚轮压印该压印材料，该滚轮具有一中心和围绕该中心的外表面， 若干压印模仁设于该外表面，固化该压印材料；(4)重复步骤(2)(3)，直至该待压印 的基板的第N压印区域压印完毕。 【专利类型】发明申请 【申请人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】宝安区 【申请号】CN200810304348.4 【申请日】2008-09-03 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101666973A 【公开公告日】2010-03-10 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G03F7/00 【发明人】李汉隆 【主权项内容】1.一种晶圆级压印方法，其包括以下步骤： (1)待压印的基板置于机台，该基板上具有第一压印区域，第二压印区域……第N压 印区域，N为自然数； (2)涂布装置和该机台相对移动以使该涂布装置对准一待处理的压印区域，应用该 涂布装置在该压印区域涂布压印材料； (3)使用滚轮压印该压印材料，该滚轮具有一中心和围绕该中心的外表面，若干压 印模仁设于该外表面，固化该压印材料； (4)重复步骤(2)(3)，直至该待压印的基板的第N压印区域压印完毕。 【当前权利人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【当前专利权人地址】广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号; 中国台湾新北市土城区中山路66号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】914403007084307436 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】2
