【摘要】 本发明系揭露一种龙门式光罩清洁装置，其系提供二支撑装置，并将其分开置放，而后将一风刀装置装设于两支撑装置之间，并利用一控制装置控制所有组件作动。当要进行清洁之时，把光罩承载装置移至风刀装置下方，这样一来，就可以利用风刀所吹出来的气体对光罩进行清洁了。本发明不但可以避免人员多次近距离接触，更可以缩短清洁光罩的时间提高生产的速度。。 【专利类型】发明授权 【申请人】深超光电(深圳)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518109 广东省深圳市宝安区龙华镇民清路伍屋工业区东富龙民清宿舍1楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】宝安区 【申请号】CN200810090268.3 【申请日】2008-03-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101281376B 【公开公告日】2010-12-15 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101281376B 【授权公告日】2010-12-15 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G03F7/20; G03F1/00; B08B11/00; B08B5/02; G03F1/82 【发明人】杨东晃; 刘耀隆 【主权项内容】一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于包含：二支撑装置，其系设置于一地面上；一风刀装置，其系装设在该支撑装置间；以及一控制装置，其系控制该支撑装置与该风刀装置之整体架构，控制所有组件作动；该风刀装置更包含：至少一风刀，其系位于该支撑装置间；至少一吹气管路，一端接续该风刀出风口，另一端接续一进气装置；至少一吸气管路，一端接续一吸气口，另一端接续一出气装置。 【当前权利人】深超光电(深圳)有限公司 【当前专利权人地址】广东省深圳市宝安区龙华镇民清路伍屋工业区东富龙民清宿舍1楼 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】91440300767583838F 【引证次数】5.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】6
