【摘要】 本发明属于声波感测技术领域。公开一种表面声波感测器，它包括压电基底，设置于压 电基底表面的输入叉指电极、输出叉指电极，以及设置于压电基底表面且位于输入叉指电极 与输出叉指电极之间的感测装置，所述感测装置包括纳米柱阵列或纳米管阵列，在纳米柱或 纳米管表面具有感测材料层。纳米柱为硅纳米柱，纳米管为碳纳米管。感测材料层的材料为 氧化锌，在感测材料层表面具有若干纳米线。所述纳米线为氧化锌纳米线，其直径比硅纳米 柱或碳纳米管的直径小。本发明的表面声波感测器可作为紫外线感测器、氢气感测器使用。 本发明的感测装置包括纳米柱或纳米管阵列，提高了感测装置的感测表面积，使得本发明的 表面声波感测器的感测效果得以提高。 【专利类型】发明申请 【申请人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】宝安区 【申请号】CN200810303020.0 【申请日】2008-07-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101634643A 【公开公告日】2010-01-27 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101634643B 【授权公告日】2011-11-09 【授权公告年份】2011.0 【发明人】周代栩 【主权项内容】1.一种表面声波感测器，其包括：压电基底，设置于压电基底表面 的输入叉指电极、输出叉指电极，以及设置于压电基底表面且位于输入叉指电极与输出叉指 电极之间的感测装置，其特征在于，所述感测装置包括纳米柱阵列或纳米管阵列，在纳米柱 或纳米管表面具有感测材料层。 【当前权利人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【当前专利权人地址】广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号; 中国台湾新北市土城区中山路66号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】914403007084307436 【被引证次数】6 【家族被引证次数】6
