【摘要】 一种薄膜制备装置包括雾化装置以及薄膜沉积装置。所述雾化装置用于雾化前驱体溶液 。所述薄膜沉积装置用于将雾化后的前驱体溶液喷至基板表面以形成薄膜。所述雾化装置包 括容器、振动传递膜以及振动元件。所述振动传递膜将容器分隔成第一收容部及第二收容部 。所述第一收容部填充有振动传递液体。所述第二收容部用于填充前驱体溶液。所述振动元 件位于第一收容部，用于产生振动，并使振动通过所述振动传递液体、振动传递膜传递至前 驱体溶液，从而使前驱体溶液雾化。 【专利类型】发明申请 【申请人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】宝安区 【申请号】CN200810304244.3 【申请日】2008-08-27 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101660158A 【公开公告日】2010-03-03 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】C23C26/00 【发明人】裴绍凯 【主权项内容】1.一种薄膜制备装置，其包括雾化装置以及薄膜沉积装置，所述雾 化装置用于雾化前驱体溶液，所述薄膜沉积装置用于将雾化后的前驱体溶液喷至基板表面以 形成薄膜，其特征在于，所述雾化装置包括容器、振动传递膜以及振动元件，所述振动传递 膜将容器分隔成第一收容部及第二收容部，所述第一收容部填充有振动传递液体，所述第二 收容部用于填充前驱体溶液，所述振动元件位于第一收容部，用于产生振动，并使振动通过 所述振动传递液体、振动传递膜传递至前驱体溶液，从而使前驱体溶液雾化。 【当前权利人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【当前专利权人地址】广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号; 中国台湾新北市土城区中山路66号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】914403007084307436 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】11
