【摘要】 一种用于激光加工使用的光学fθ镜头,包括透镜组和光阑,所述光阑位于透镜组的前方,透镜组包括三个透镜,该三个透镜分别为第一、第二、第三透镜,依次排列为“负-正-正”分离的光焦度系统,其中,所述第一透镜为弯月型负透镜,第二透镜为弯月型正透镜,第三透镜为平凸型或弯月型正透镜,第一透镜、第二透镜及第三透镜所有的曲面均向着光阑方向弯曲,且整个光学系统的焦距为f,第一、第二、第三透镜的焦距分别为f1、f2、f3,各透镜的焦距与整个光学系统的焦距f比率满足以下要求关系:-0.6<f1/f<-0.4;0.5<f2/f<0.8;0.9<f3/f<1.2。本发明所提供的光学fθ镜头,使得系统的的球差、彗差与场曲都达到较好的平衡,使得成像结果良好且在整个像面上成像均匀,且该结构应用于大口径入射的fθ镜头的小型化取得较好的效果。。 【专利类型】发明授权 【申请人】深圳市大族激光科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518057 广东省深圳市南山区高新科技园松坪山工厂区5号路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】南山区 【申请号】CN200810066906.8 【申请日】2008-04-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101369047B 【公开公告日】2010-12-08 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101369047B 【授权公告日】2010-12-08 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G02B13/00; G02B9/12; B23K26/02N; B23K26/02 【发明人】高云峰; 李家英; 周朝明; 鲍瑞武; 李红梅; 孙博; 张维臣 【主权项内容】一种用于激光加工使用的光学fθ镜头,包括透镜组和光阑,其特征在于:所述光阑位于透镜组的前方,透镜组包括三个透镜,分别为第一、第二、第三透镜,依次排列为“负‑正‑正”分离的光焦度系统,其中,所述第一透镜为弯月型负透镜,第二透镜为弯月型正透镜,第三透镜为平凸型或弯月型正透镜,第一透镜、第二透镜及第三透镜所有的曲面均向着光阑方向弯曲,且整个光学系统的焦距为f,第一、第二、第三透镜的焦距分别为f1、f2、f3,各透镜的焦距与整个光学系统的焦距f比率满足以下要求:f1/f=‑0.49,f2/f=0.69,f3/f=1.03,且:第一透镜与第二透镜在光轴上的间隔为d2=2.5mm,第二透镜与第三透镜在光轴上的间隔为d4=0.5mm,第三透镜与成象面在光轴上的距离为d6=235mm;或f1/f=‑0.49,f2/f=0.58,f3/f=1.01,且:第一透镜与第二透镜在光轴上的间隔为d2=3.2mm,第二透镜与第三透镜在光轴上的间隔为d4=0.3mm,第三透镜与成象面在光轴上的距离为d6=485mm。 【当前权利人】大族激光科技产业集团股份有限公司 【当前专利权人地址】广东省深圳市南山区深南大道9988号 【专利权人类型】股份有限公司(上市) 【统一社会信用代码】91440300708485648T 【家族引证次数】35.0 【家族被引证次数】46