【摘要】 本发明公开了一种回收三氯氢硅生产尾气中H2的方法，其主要包括以下步骤：加压：对三氯氢硅的生产尾气进行加压；吸附：加压后的生产尾气进入变压变温吸附系统中处于吸附状态的吸附塔，吸附塔内的吸附剂吸附尾气中的SiH2CL2、SiHCL3、SiCL4、HCL；回收：吸附后的净化气从塔顶排出；再生：吸附塔中吸附剂的再生；其中，变压变温吸附系统为并联两台或两台以上吸附塔，吸附塔中装填有活性炭，硅氧化物吸附剂以及硅铝酸盐吸附剂。该方法具有操作简单、能耗低、净化效果好并使三氯氢硅中的杂质组分得以循环利用，减少环境污染等优点，通过该方法获得的氢气纯度大于98％。 -官网 【专利类型】发明授权 【申请人】广州吉必盛科技实业有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】510450 广东省广州市广花一级公路塘贝段 【申请人地区】中国 【申请人城市】广州市 【申请人区县】荔湾区 【申请号】CN200810025642.1 【申请日】2008-01-04 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101279178B 【公开公告日】2010-11-24 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101279178B 【授权公告日】2010-11-24 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】B01D53/047; C01B3/56 【发明人】王跃林; 段先健; 柯嘉良; 刘莉 【主权项内容】一种回收三氯氢硅生产尾气中H2的方法，其特征是，主要包括以下步骤：(1)加压：对三氯氢硅的生产尾气进行加压；(2)吸附：加压后的生产尾气进入变压变温吸附系统中处于吸附状态的吸附塔，吸附塔内的吸附剂吸附尾气中的SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、HCl；(3)回收：吸附后的净化气从塔顶排出；(4)再生：吸附塔中吸附剂的再生；其中，变压变温吸附系统为并联两台以上吸附塔，吸附塔中装填有活性炭，硅氧化物吸附剂以及硅铝酸盐吸附剂；使用时，其中至少一台吸附塔的吸附剂处于吸附状态，其余的吸附塔的吸附剂处于再生状态，吸附塔中吸附剂的状态进行周期性轮换。 【当前权利人】湖北汇富纳米材料股份有限公司 【当前专利权人地址】湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91440101726807209R 【引证次数】5.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】14
