【摘要】 本发明公开了一种利用固体激光器无损剥离GaN与蓝宝石衬底的方法，是以固体激光器为激光光源，使用周长为3～1000微米，且两个最远角距离或最长直径不超过400微米的小光斑进行逐点逐行激光扫描，其中小光斑内部的能量分布情况是：光斑中心能量最强，向四周能量逐渐变弱。本发明实现了小光斑无损激光剥离，改进了激光剥离扫描方式，从而实现了无需对版的盲打剥离方法，简化了激光剥离工艺过程，提高了效率，降低了废品率，为激光剥离工艺产业化扫清了障碍。 微信 【专利类型】发明申请 【申请人】东莞市中镓半导体科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】523500 广东省东莞市企石镇科技工业园 【申请人地区】中国 【申请人城市】东莞市 【申请人区县】东莞市 【申请号】CN200810225953.2 【申请日】2008-11-07 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101740331A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101740331B 【授权公告日】2012-01-25 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H01L21/00; H01L21/268; B23K26/00 【发明人】张国义; 孙永健; 康香宁; 陈志忠; 杨志坚; 杨欣荣 【主权项内容】一种激光剥离GaN和蓝宝石衬底的方法，其特征在于，以固体激光器为激光光源，使用周长为3～1000微米，且两个最远角距离或最长直径不超过400微米的小光斑进行逐点逐行激光扫描，其中小光斑内部的能量分布情况是：光斑中心能量最强，向四周能量逐渐变弱。 【当前权利人】东莞市中镓半导体科技有限公司 【当前专利权人地址】广东省东莞市企石镇科技工业园 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】914419006844126701 【被引证次数】7 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】26.0 【家族被引证次数】18
