【摘要】 本发明公开了一种透明金属氧化物钛酸锶镧薄膜的制备方法。步骤为，按照La0.5Sr0.5TiO3的成分比，称量乙酸镧、乙酸锶和正丁醇钛后，将其先后加入溶剂丙酸中，并分别于70～80℃下搅拌，接着，通过加入或蒸发丙酸来调节其浓度为0.15～0.25M，得到前驱体溶液；之后，先将前驱体溶液置于旋转的基片上，经甩膜形成凝胶膜，再将凝胶膜置于250～350℃下热解20～30min，重复上述过程，直至获得所需厚度的热解膜；最后，先将热解膜置于900～1000℃下退火15～20h，得到初始薄膜，再将初始薄膜与粉末状阻挡层和粉末状还原前驱体一起密闭于石英管中，置于850～900℃下退火至少20h，制得透明金属氧化物钛酸锶镧薄膜。它的产物可广泛地用于液晶显示器、有机发光二极管和太阳能电池的透明电极。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院合肥物质科学研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】230031 安徽省合肥市1110信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】合肥市 【申请人区县】蜀山区 【申请号】CN200810244444.4 【申请日】2008-12-05 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101746960A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101746960B 【授权公告日】2012-09-26 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】C03C17/22 【发明人】李刚; 朱雪斌; 雷和畅; 张守宝; 朱相德; 宋文海; 杨昭荣; 戴建明; 孙玉平 【主权项内容】一种透明金属氧化物钛酸锶镧薄膜的制备方法，包括拓扑还原法，其特征在于完成步骤如下：步骤1，按照La0.5Sr0.5TiO3的成分比，称量乙酸镧、乙酸锶和正丁醇钛；步骤2，以丙酸为溶剂，先将乙酸镧加入到其中，并将其置于70～80℃下搅拌至乙酸镧完全溶解，得到乙酸镧溶液，再向乙酸镧溶液中加入乙酸锶，并将其置于70～80℃下继续搅拌至乙酸锶溶解，得到混合溶液，然后，向混合溶液中加入正丁醇钛，先将其置于70～80℃下搅拌0.5～1h，再将其置于室温下搅拌10～20h，并通过加入或蒸发丙酸来调节其浓度为0.15～0.25M，得到前驱体溶液；步骤3，先将前驱体溶液置于旋转的基片上，经甩膜形成凝胶膜，再将凝胶膜置于250～350℃下热解20～30min，重复上述过程，直至获得所需厚度的热解膜；步骤4，先将热解膜置于900～1000℃下退火15～20h，得到初始薄膜，再将初始薄膜与粉末状阻挡层和粉末状还原前驱体一起密闭于石英管中，置于850～900℃下退火至少20h，制得透明金属氧化物钛酸锶镧薄膜。 【当前权利人】中国科学院合肥物质科学研究院 【当前专利权人地址】安徽省合肥市1110信箱 【统一社会信用代码】121000007178068020 【引证次数】1.0 【被引证次数】2 【他引次数】1.0 【被自引次数】1.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】2
