【摘要】 微纳米级三维测量“331”系统及其测量方法，其特征是设置三维测量系统X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线相互垂直并相交于一交点上，以交点为坐标原点，建立三维坐标系；设置测量系统中测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面与测头中心点所在的测量面三面共面形成重合平面；设置X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线的交点处于测量平台的重合平面上；同时使X、Y轴标准量尺寸线或其延长线也与三面重合，使已建三维坐标系的X、Y坐标面与测量面重合；设置测头中心点与三条标准量尺寸线或其延长线交点重合。本发明在三维方向上都满足阿贝原则，从而能有效避免阿贝误差，保证高测量精度。 【专利类型】发明授权 【申请人】合肥工业大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】230009 安徽省合肥市屯溪路193号 【申请人地区】中国 【申请人城市】合肥市 【申请人区县】包河区 【申请号】CN200810196741.6 【申请日】2008-09-19 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101419044B 【公开公告日】2010-10-06 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101419044B 【授权公告日】2010-10-06 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01B5/008 【发明人】费业泰; 王晨晨; 尚平 【主权项内容】微纳米级三维测量“331”系统，其特征是系统构成为：设置三维测量系统的X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线相互垂直并相交于一交点上，以所述交点为坐标原点，建立三维坐标系；设置测量系统中测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面与测头中心点所在的测量面三面共面形成重合平面，从而建立三维共平面测量平台；设置所述X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线的交点处于测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面、测量面三面的重合平面上；同时使X、Y轴标准量尺寸线或其延长线也与三面重合，使已建三维坐标系的X、Y坐标面与测量面重合；设置测头中心点与三条标准量尺寸线或其延长线交点重合；所述测量系统的测量平台由X向滑座(1)、Y向滑座(2)、工作滑台(3)和Z向可调工作台(4)以由外向内逐一嵌套的结构形式组成；其中，X向滑座(1)和Y向滑座(2)之间的X导轨面(11)与Y向滑座(2)和工作滑台(3)之间的Y导轨面(12)与测头中心所在的测量面处在同一面上，被测工件放在嵌套在工作滑台(3)中的Z向可调工作台(4)上。 【当前权利人】合肥工业大学 【当前专利权人地址】安徽省合肥市屯溪路193号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400016984P 【家族被引证次数】13
