【摘要】 本发明位相型朗奇(Ronchi)光栅槽深的光学检测方法。解决了对于周期远大于其工作波长的位相型朗奇光栅槽深的精确检测。本发明包括：1、利用光谱仪记录工作光源的初始光谱曲线Is(λ)；2、工作光源的出射光正入射至位相型朗奇光栅表面；3、利用光谱仪记录位相型朗奇光栅对工作光源的零级透射光的光谱曲线Ig(λ)；4、计算位相型朗奇光栅的零级光谱透射率；5、根据光栅零级光谱透射率η(λ)确定位相型朗奇光栅零级光谱透射率极小值ηmin对应的波长λmin；6、最后计算出位相型朗奇光栅的槽深。本发明方法适用于周期远大于其工作波长的位相型朗奇光栅槽深检测，其检测原理简单可靠，所需设备少，检测成本较低，而且能够快速、灵敏地实现朗奇光栅槽深的无损检测。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学技术大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】230029 安徽省合肥市6022信箱中国科学技术大学国家同步辐射实验室 【申请人地区】中国 【申请人城市】合肥市 【申请号】CN200810021578.X 【申请日】2008-08-01 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101339006B 【公开公告日】2010-11-24 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101339006B 【授权公告日】2010-11-24 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01B11/22 【发明人】刘颖; 付绍军; 刘正坤; 徐向东; 洪义麟 【主权项内容】1.位相型朗奇光栅槽深的光学检测方法，其特征在于：当位相型朗奇光栅的周期d及其工作波长λ满足d＞10λ的情形时，位相型朗奇光栅槽深的光学检测具体操作步骤如下： (1)、利用光谱仪记录工作光源的初始光谱曲线Is(λ)； (2)、将待测位相型朗奇光栅放置在工作光源和光谱仪之间，工作光源的出射光正入射至位相型朗奇光栅表面；位相型朗奇光栅与光谱仪的距离至少大于50mm，使光谱仪的入射面仅接收到光栅的零级透射光； (3)、利用光谱仪记录位相型朗奇光栅对工作光源的零级透射光的光谱曲线Ig(λ)； (4)、根据公式 计算位相型朗奇光栅的零级光谱透射率； (5)、根据光栅零级光谱透射率η(λ)确定位相型朗奇光栅零级光谱透射率极小值ηmin对应的波长λmin； (6)、计算位相型朗奇光栅的槽深h，具体如下： 如果位相型朗奇光栅零级光谱透射率的极小值ηmin对应的中心波长为λmin，则光栅的槽深h满足(1)式， 其中nmin为光栅基底材料对波长λmin的折射率。 【当前权利人】中国科学技术大学 【当前专利权人地址】安徽省合肥市6022信箱中国科学技术大学国家同步辐射实验室 【统一社会信用代码】12100000485001086E 【引证次数】1.0 【他引次数】1.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】1
