【摘要】 本发明公开了一种制备高纯三氟化硼气体的工艺方法及设备，方法是用氟气与单质硼直接合成法生产三氟化硼气体，含杂质的三氟化硼气体经过除尘和精馏可以稳定地制备出高纯三氟化硼气体。其设备主要包括缓冲罐、净化器、氟气储罐、反应器、除尘器、精馏釜、冷凝器、吸附器和真空机组。利用本发明的方法及设备生产的三氟化硼气体纯度高、设备简单、操作方便、设备运行安全、可连续生产等优点。 【专利类型】发明授权 【申请人】核工业理化工程研究院华核新技术开发公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】300384 天津市华苑产业区海泰发展6号海泰绿色产业基地J座104室 【申请人地区】中国 【申请人城市】天津市 【申请人区县】南开区 【申请号】CN200810052091.8 【申请日】2008-01-17 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101214970B 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101214970B 【授权公告日】2010-06-16 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C01B35/06 【发明人】陈光华; 倪志强 【主权项内容】一种制备高纯三氟化硼气体的工艺方法，其特征在于：在净化器(4)中去除氟气中杂质，净化器(4)内的温度为-140～-195℃，压力为-0.09～0.2MPa，在净化器(4)内进行低温冷冻液化、收集氟气后，对净化器(4)升温，将解冻的氟气通过管道(2)进入氟气储罐(5)，氟气储罐(5)内的压力为-0.02～0.2MPa，氟气与预热到150℃以上的单质硼在反应器(6)内进行合成化学反应，生成含有轻杂质的三氟化硼气体，然后含有轻杂质的三氟化硼气体通过除尘器(7)去除固体物质；再进入精馏釜(8)进行液化、收集，精馏釜的温度为-120～-145℃，然后精馏釜(8)升温，精馏釜(8)中的气相部分通过精馏柱(9)上升到冷凝器(10)中，此气相部分在冷凝器(10)中被冷却到-115～-135℃，大部分三氟化硼气体被液化变成下降液体流回精馏釜(8)，杂质经吸附器(11)和真空机组(12)后再经废气处理系统处理达标后再排放；冷凝器(10)中通过管道(2)排出的即为高纯三氟化硼气体。 【当前权利人】核工业理化工程研究院 【当前专利权人地址】天津市河东区津塘路168号 【专利权人类型】全民所有制 【统一社会信用代码】91120116103423399H 【引证次数】3.0 【被引证次数】1 【他引次数】3.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】20
