【摘要】 本发明公开了一种电子束制备HfO2/SiO2多层反射膜的方法，1)用金属颗粒代替镀膜材料氧化铪(HfO2)，采用扫描电子束结构。金属铪在电子束轰击下，在电子枪坩锅内全部融化，不会因电子束弯曲和能量不均匀造成材料中隧道，使膜层产生缺陷。2)用石英玻璃片代替SiO2颗粒，采用高速扫描电子束结构和环行坩锅，在电子束轰击和环行坩锅连续转动下，石英玻璃片均匀蒸发，不会因电子束打在SiO2颗粒缝穴间和能量不均匀造成材料中隧道，使膜层产生缺陷。3)使用离化的带有100-200eV能量的离子束轰击蒸发膜层，离化氧离子使膜层充分氧化，形成完整化学计量比膜层，有效消除吸收。 【专利类型】发明申请 【申请人】四川欧瑞特光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】610051 四川省仁寿县视高工业集中区 【申请人地区】中国 【申请人城市】眉山市 【申请人区县】仁寿县 【申请号】CN200810046230.6 【申请日】2008-10-07 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101713061A 【公开公告日】2010-05-26 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101713061B 【授权公告日】2011-12-14 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23C14/24; C23C14/08 【发明人】王建军 【主权项内容】一种电子束制备HfO2/SiO2多层反射膜的方法，其特征在于：在电子束蒸发镀膜机中加入离子源，在氧化物蒸发过程中，用氧离子束轰击蒸发膜，其方法为：1)、金属铪在电子束轰击下，在电子枪坩锅内全部融化；2)、石英玻璃片在电子束轰击和环行坩锅连续转动下，石英玻璃片均匀蒸发；3)、使用离化的带有100-200eV能量的离子束轰击蒸发膜层，离化氧离子使膜层充分氧化，形成完整化学计量比膜层。 【当前权利人】海安县中山合成纤维有限公司 【当前专利权人地址】江苏省南通市海安县墩头镇吉庆村十组 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91511421660264570C 【被引证次数】18 【被他引次数】18.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】18
