【摘要】 。一种处理硅晶板切割废弃物的方法及装置，系由两阶段的连续步骤 及利用装置所组成，整个方法包含第一阶段的固液分离步骤，以及第二 阶段的液液分离步骤；第一阶段的固液分离步骤先将废弃物进行固液分 离，固液分离后液体废弃物再利用一个三阶段的连续性的真空蒸馏步骤， 包括一个二阶段的薄膜蒸发步骤，以及一个一阶段的分子蒸馏步骤，将 液体废弃物中所含的废水、聚乙二醇、以及切削油(废油)加以精馏、分离、 及回收；整个方法不仅可以达到资源回收再利用的目标，且可避免二次 污染的产生。 【专利类型】发明申请 【申请人】张伟民; 台湾渥茂股份有限公司 【申请人类型】企业,个人 【申请人地址】台湾省台北市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810168829.7 【申请日】2008-09-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101684028A 【公开公告日】2010-03-31 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101684028B 【授权公告日】2012-07-18 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】C02F9/10; C02F1/06; C02F1/40; C02F1/04 【发明人】张伟民 【主权项内容】1.一种处理硅晶板切割废弃物的方法，包含： A：固液分离步骤，将废弃物中的固体与液体进行分离，以分离出固 体废弃物与液体废弃物； B：废水分离步骤，接续A，以薄膜蒸发方式将液体废弃物的中之废 水分离出来； C：聚乙二醇回收步骤，接续前述B，将分离出废水的液体废弃物， 再以薄膜蒸发方式分离出聚乙二醇；以及 D：废油回收步骤，接续前述C，将分离出聚乙二醇的液体废弃物， 以分子蒸馏方式析出废油加以回收，残余之废油渣则排出流程，等待焚 化。 【当前权利人】张伟民; 台湾渥茂股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾台北市; 中国台湾台北市 【被引证次数】8 【被他引次数】8.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】8
