【摘要】 一种外延成长的方法，包括提供一模具；提供一基板，且基板设置于 模具内；提供一溶剂及一溶质，液化溶剂使溶质溶在溶剂内，以形成一熔 融液于模具与基板之间；以及形成一第一外延层于基板表面，其中，熔融 液是由一温度梯度熔解模具及基板，以形成第一外延层于基板表面。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国砂轮企业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】台湾省台北市延平南路10号 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810168718.6 【申请日】2008-09-26 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101684568A 【公开公告日】2010-03-31 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101684568B 【授权公告日】2012-07-18 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】C30B19/00 【发明人】宋健民 【主权项内容】1、一种外延成长的方法，其包括下列步骤： 提供一模具； 提供一基板，且该基板设置于该模具内； 提供一溶剂及一溶质，液化该溶剂使该溶质溶在该溶剂内，以形成一 熔融液于该模具与该基板之间；以及 形成一第一外延层于该基板表面； 其中，该熔融液是由一温度梯度熔解该模具及该基板，以形成该第一 外延层于该基板表面。 【当前权利人】中国砂轮企业股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾台北市延平南路10号 【引证次数】6.0 【被引证次数】5 【他引次数】6.0 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】10.0 【家族被引证次数】5
