【摘要】 本发明公开了一种在透明电极上制作AAO模板的方法及相应的器件。先在透明电极上镀一层适当厚度的金属钛作为缓冲层,再在其上镀金属铝层,然后以酸性溶液为电解液进行阳极氧化电解,从而在透明电极上制作出AAO纳米多孔阵列结构模板,相应地得到一种透明电极和AAO模板复合器件。本发明中的钛缓冲层起到了很好的粘附和保护作用,在保证铝层不脱落且完全电解的情况下,很好地保护了透明电极层不被电解破坏,得到直通衬底的纳米多孔阵列结构。而且,在电解作用下,钛层经扩散和氧化变得透明,保证了整体结构具有高的透光性,可广泛应用于太阳能电池器件和电致发光器件等光电子器件中。本发明制作工艺简单,易于大面积制作,适合工业化生产。 : 【专利类型】发明授权 【申请人】北京大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100871 北京市海淀区颐和园路5号北京大学 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810224414.7 【申请日】2008-10-14 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101386985B 【公开公告日】2010-09-08 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101386985B 【授权公告日】2010-09-08 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C23C28/00; C25D11/04; B82B3/00 【发明人】肖立新; 段来强; 罗方闻; 陈志坚; 龚旗煌 【主权项内容】一种在透明电极上制作AAO模板的方法,先在透明电极上镀一层厚度为8nm~45nm的金属钛作为缓冲层,再在其上镀金属铝层,然后以酸性溶液为电解液进行阳极氧化电解,获得AAO模板。 【当前权利人】北京大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区颐和园路5号北京大学 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400002259P 【家族被引证次数】15