【摘要】 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉保温桶，其特征在于：设有 底部石英板(1)、中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4)，所述 支撑杆为数个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片 为多片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有 用于固定石英舟的固定槽(4.1)。所述底部石英板、顶部石英板为圆环形； 中间石英片为圆片形，并且该中间石英片的结构为中间是OP材料层(2.1)， 上下两层及周边为高纯透明石英板材包覆层(2.2)。本实用新型适用于立式 氧化炉的石英舟的支撑和保温，结构完善，保温效果好，洁净度高，能保证 加工质量。 【专利类型】实用新型 【申请人】北京七星华创电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200820234107.2 【申请日】2008-12-31 【申请年份】2008 【公开公告号】CN201382699Y 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN201382699Y 【授权公告日】2010-01-13 【授权公告年份】2010.0 【发明人】钟华; 董金卫; 赵星梅; 胡星强; 艾伦·埃马米 【主权项内容】1、一种300mm立式氧化炉保温桶，其特征在于：设有底部石英板(1)、 中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4)，所述支撑杆为数个，垂 直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔 均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的 固定槽(4.1)。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】股份有限公司 【统一社会信用代码】91110000726377528Y 【被引证次数】1 【家族被引证次数】1
