【摘要】 本发明涉及一种带有连接层的卡盘装置，包括至少两层绝缘层，在所述每层绝缘层内设有至少一个导电元件，所述的绝缘层之间还设有至少一个连接层，与所述连接层外侧相连的绝缘层中的导电元件数量小于与该连接层内侧相连的绝缘层中的导电元件数量。本发明还涉及一种上述带有连接层的卡盘装置的制造方法。由于本发明设置了金属连接层，并且通过该金属连接层减少了使用加热器所产生的电源接头的数量，尤其在加热器数量较多的时候，效果尤为显著。即：在使用N个独立的加热器回路的情况下，使用现有技术所需要的接头数量为2N个，而使用本发明所需要的接头数量为N+1个。 【专利类型】发明授权 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810055963.6 【申请日】2008-01-03 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101477962B 【公开公告日】2010-11-10 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101477962B 【授权公告日】2010-11-10 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01L21/683 【发明人】刘利坚 【主权项内容】一种带有连接层的卡盘装置，其特征在于：包括绝缘层，所述绝缘层至少包括邻近卡盘装置背面的第一绝缘层和远离卡盘装置背面的第二绝缘层，在所述第一绝缘层和第二绝缘层内各设有至少一个导电元件，在所述第一绝缘层和第二绝缘层之间还设有至少一个连接层，所述第一绝缘层中的导电元件数量小于第二绝缘层中的导电元件数量。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【引证次数】3.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】4
