【摘要】 本发明涉及一种显影液组成物，包括碱性物质和水，还包括非离子界面活性剂和阴离子界面活性剂氟化物。本发明在显影液中采用了非离子界面活性剂和阴离子界面活性剂氟化物，能够克服水表面张力大导致显影液组成物润湿性能不好的问题，还能避免析出的有机聚合物盐积聚形成残渣。 【专利类型】发明申请 【申请人】京东方科技集团股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥路10号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810240377.9 【申请日】2008-12-18 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101750910A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101750910B 【授权公告日】2012-11-21 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G03F7/32 【发明人】张海清; 杨久霞; 张卓; 赵吉生; 何璇; 李琳 【主权项内容】一种显影液组成物，包括碱性物质和水，其特征在于：还包括非离子界面活性剂和阴离子界面活性剂氟化物。 【当前权利人】京东方科技集团股份有限公司 【当前专利权人地址】北京市朝阳区酒仙桥路10号 【专利权人类型】其他股份有限公司(上市) 【统一社会信用代码】911100001011016602 【被引证次数】3 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】4
