【摘要】 本发明公开了一种基片传输装置及其控制系统和控制方法，在负载端口中设置了一个 激光传感器或激光测距器，用于判断锁闭器端口面板的位置改变，并把位置改变信号传给 控制系统，当出现误操作或错误设定参数而致使夹具上的片盒和伸出的锁闭器端口面板发 生误挤压时，控制系统能停止基片升降驱动装置的电机工作，停止片盒继续下降，以避免 对设备造成损坏。可以用在负载锁闭器和负载端口的安全联合调试的过程中，也可以用在 基片的加工过程中，能有效避免片盒与锁闭器端口面板之间发生误挤压。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810117610.4 【申请日】2008-08-01 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101640166A 【公开公告日】2010-02-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101640166B 【授权公告日】2011-12-07 【授权公告年份】2011.0 【发明人】张金斌 【主权项内容】1、一种基片传输装置，包括负载端口，其特征在于，所述负载端口中设有闭锁器端 口面板高度检测装置。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
