【摘要】 本发明公开了一种基片支承装置及其静电释放方法，所述基片支承装置 包括：用于放置基片的基片座，位于基片下面的升针机构和放电机构，所述 放电机构包括：贯穿所述基片座并能够相对于基片座来回移动的探针，驱动 所述探针移动的驱动部件，以及将所述探针与大地之间连接的开关。本发明 公开的基片支承装置在具有升针机构的基础上仅附加由探针、阻尼部件和开 关组成的放电机构，即可将基片中的残余静电完全释放，相对于现有技术而 言，装置结构简单、制造和维护成本较低。另外，所述基片支承装置的静电 释放方法，放电过程简单，不需要复杂的反馈机构界定一个基片应变的极限 进行区分，不受响应时间的限制，能够在短时间内将基片的残余静电迅速释 放。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路一号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810223308.7 【申请日】2008-09-25 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101685791A 【公开公告日】2010-03-31 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101685791B 【授权公告日】2012-04-11 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H01L21/683; H01L21/00; C23C16/458; C30B25/12; C23F4/00; H01J37/32; H01L21/67 【发明人】张小昂 【主权项内容】1、一种基片支承装置，其特征在于，包括：用于放置基片的基片座，位 于基片下面的升针机构和放电机构，所述放电机构包括： 贯穿所述基片座并能够相对于基片座来回移动的探针，驱动所述探针移 动的驱动部件，以及将所述探针与大地之间连接的开关。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】14 【被他引次数】14.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】14
