【摘要】 本发明涉及一种观察硅片表面的运动支撑机构，其特征在于它包括一竖直设 置的、由水平电机通过带动水平旋转的空心支柱，支柱的上下两端分别伸出有翼 耳，在下端的翼耳上固定有一曲柄电机，曲柄电机的输出轴连接一曲柄盘，曲柄 盘偏心处通过一转轴连接一空心联杆，支柱上端伸出的两翼耳间，枢接一吸盘摆 柄，吸盘摆柄的前端枢接在联杆的顶部，吸盘摆柄的空腔内设置一自转电机，自 转电机输出端连接一吸盘转轴，吸盘转轴伸出吸盘摆柄连接一吸盘，联杆、吸盘 摆柄、吸盘转轴和吸盘上设置有相互连通的真空气道。吸盘在机构的各个电机带 动下能够自转、公转、俯仰，形成三种复合球面运动，并且解决了俯仰抖动和大 面积吸附问题，可以广泛得到推广和应用。 【专利类型】发明授权 【申请人】陈百捷; 北京自动化技术研究院 【申请人类型】个人,科研单位 【申请人地址】100176北京市亦庄经济开发区大雄郁金香20号楼B-102 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】大兴区 【申请号】CN200810224698.X 【申请日】2008-10-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN100580901C 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN100580901C 【授权公告日】2010-01-13 【授权公告年份】2010.0 【发明人】陈百捷; 徐伟新; 姚广军 【主权项内容】1、一种观察硅片表面的运动支撑机构，其特征在于：它包括一竖直设置的、 由水平电机通过传动组件带动水平旋转的空心支柱，所述空心支柱的上下两端分 别伸出有翼耳，在下端的翼耳上固定有一曲柄电机，所述曲柄电机的输出轴连接 一曲柄盘，曲柄盘偏心处通过一转轴连接一空心联杆，所述空心支柱上端伸出的 两翼耳间，枢接一吸盘摆柄，所述吸盘摆柄的前端枢接在所述空心联杆的顶部， 所述吸盘摆柄的空腔内设置一自转电机，所述自转电机输出端连接一吸盘转轴， 所述吸盘转轴伸出所述吸盘摆柄连接一吸盘，所述空心联杆、吸盘摆柄、吸盘转 轴和吸盘上设置有相互连通的真空气道，所述真空气道连接一抽真空装置。。 【当前权利人】陈百捷; 北京自动化技术研究院 【当前专利权人地址】; 北京市西城区北京西城区鼓楼西大街41号 【家族被引证次数】5
