【摘要】 本发明公开了一种液晶显示器基板检测装置及缺陷检测方法，其中装置 包括：光学成像模块，用于形成透明基板上图形的图像，还包括反射镜，在 检测时，所述反射镜、待检测透明基板与所述光学成像模块位于同一条光路 上，并且所述反射镜设置在所述待检测透明基板的下方，所述光学成像模块 通过所述反射镜，能够形成所述待检测透明基板上不透明膜层下表面的缺陷 的像。本发明提供的液晶显示器基板检测装置及缺陷检测方法，不仅可以实 现通过常规的俯视方式检测基板上不透明膜层上表面的缺陷，还可以实现借 助于反射镜通过仰视方式检测基板上不透明膜层下表面的缺陷，提高了缺陷 检测的覆盖率，避免了将缺陷引入后续工序。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京京东方光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100176北京市经济技术开发区西环中路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】大兴区 【申请号】CN200810119939.4 【申请日】2008-09-11 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101672804A 【公开公告日】2010-03-17 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101672804B 【授权公告日】2012-09-19 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G01N21/958; G01N21/88 【发明人】高浩然; 张宇; 张铁林 【主权项内容】1、一种液晶显示器基板检测装置，包括：光学成像模块，用于形成透明 基板上图形的图像，其特征在于，还包括反射镜，在检测时，所述反射镜、 待检测透明基板与所述光学成像模块位于同一条光路上，并且所述反射镜设 置在所述待检测透明基板的下方，所述光学成像模块通过所述反射镜，能够 形成所述待检测透明基板上不透明膜层下表面的缺陷的像。。 【当前权利人】高创(苏州)电子有限公司; 京东方科技集团股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市吴江经济技术开发区大兢路1088号; 北京市朝阳区酒仙桥路10号 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳与境内合资) 【统一社会信用代码】911103027493533932 【被引证次数】13 【被自引次数】8.0 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】13
