【摘要】 本发明公开一种液位沉降法制备薄膜的装置，该装置包括：容器、加热 板、储液器和管路，其中，所述容器为方形扁平结构，容器上设有输液口， 所述容器通过输液口经管路与储液器连通；所述容器上设有加热板，所述加 热板与容器内放置制膜的基板的位置相对应，用于薄膜的干燥和退火。该装 置结构简单，由于采用方形扁平结构的容器，减少了用液量，有效降低了制 备薄膜的成本，并且通过控制液位的沉降，可以方便的制备所需的薄膜，而 基板不用动，装置可任意角度倾斜，使一次性镀膜厚度可控，加快了制备薄 膜时间。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京石油化工学院 【申请人类型】学校 【申请人地址】102617北京市大兴区黄村清源北路19号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】大兴区 【申请号】CN200810116407.5 【申请日】2008-07-09 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101623682A 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101623682B 【授权公告日】2011-05-25 【授权公告年份】2011.0 【发明人】武光明; 王怡; 朱江; 唐文; 张菲菲; 韩彬; 江伟 【主权项内容】1、一种液位沉降法制备薄膜的装置，其特征在于，该装置包括： 容器(21)、加热板(22)、储液器(24)和管路(23)，其中，所述 容器(21)为方形扁平结构，容器上设有输液口(211)，所述容器(21)通 过输液口(211)经管路(23)与储液器(24)连通；所述容器(21)上设有 加热板(22)，所述加热板(22)与容器(21)内放置制膜基板(25)的位 置相对应。 【当前权利人】北京石油化工学院 【当前专利权人地址】北京市大兴区黄村清源北路19号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12110000400966488R 【被引证次数】6 【家族被引证次数】6
