【摘要】 本发明的产生连续可变光瞳的照明装置在照明系统的光瞳面附近放置一光学系统，具有x和y方向不同的光焦度，经过该系统后，在x和y方向坐标相同的照明光瞳形貌可以整形成x方向和y方向不相同。该光学系统可以设计成在x方向(或y方向)的连续变焦扩束系统，以实现照明光瞳形貌连续可调。本发明无需增加光瞳挡板，光能利用率高。不用另外设计定做衍射元件产生所需照明模式。结构简单，只需在传统照明系统的光瞳面后插入该光学系统，以实现对照明光瞳的整形。可以针对不同的掩模图案产生更为灵活的照明模式，增加了四极照明的可调自由度。 【专利类型】发明授权 【申请人】上海微电子装备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】浦东新区 【申请号】CN200810041706.7 【申请日】2008-08-14 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101408285B 【公开公告日】2010-06-02 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101408285B 【授权公告日】2010-06-02 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】F21V5/04; G03F7/20; H01L21/027 【发明人】郭勇; 李仲禹 【主权项内容】一种产生连续可变光瞳的照明装置，该照明装置包括沿光路依次排列的衍射光学元件、变焦透镜组、旋转三棱镜、光瞳整形装置以及聚光系统，其特征在于：所述光瞳整形装置在垂直于光路平面内的正交方向，即x和y方向上具有不同的光焦度。。： 【当前权利人】上海微电子装备(集团)股份有限公司 【当前专利权人地址】上海市浦东新区张东路1525号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91310000736664790J 【引证次数】10.0 【自引次数】1.0 【他引次数】9.0 【家族引证次数】10.0 【家族被引证次数】5
