【摘要】 一种制造溅射靶材的模锻挤压模具，包括具有凹 模腔(11)的凹模(1)和具有凸模芯(21)的凸模(2)，凹模腔(11)与凸 模芯(21)组合后形成和溅射靶材(3)外形相应的型腔(4)，凹模(1) 和凸模(2)之间还具有型腔定位结构，该型腔定位结构为：在凸 模(2)周壁内侧的下部具有一环形凸模定位台阶(22)，在凹模腔 (11)周壁内侧的上部具 有一和环形凸模定位台阶(22)相挡位配合的环形凹模定位台阶 (12)，在凹模(1)和凸模(2)组合的状态下，所述的凸模定位台阶 (12)和凹模定位台阶(22)相贴合。该模具无需顶出装置也能顺利 脱模，无需导柱、导套设计也能控制模具的行进方向，不会使 模具行进过程中出现偏差，故该模具具有结构、特别适合在高 强压力的油压机上进行工作的优点。 【专利类型】发明申请 【申请人】宁波江丰电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】315400浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】余姚市 【申请号】CN200610053213.6 【申请日】2006-08-25 【申请年份】2006 【公开公告号】CN1935409A 【公开公告日】2007-03-28 【公开公告年份】2007 【发明人】姚力军; 潘杰 【主权项内容】1、一种制造溅射靶材的模锻工艺，其特征在于该模锻工艺是用模锻挤压模具挤压 而形成溅射靶材。 【当前权利人】宁波江丰电子材料有限公司 【当前专利权人地址】浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号 【被引证次数】18 【被自引次数】1.0 【家族被引证次数】18
