【摘要】 本实用新型公开了一种半导体材料线切割专用刃料溢流自动控制装置，它包括溢流缸、收集缸，连通所述溢流缸溢流口与收集缸的溢流管，和与收集缸相连通的混料输送管，以及与溢流缸相连通的进水管，在所述进水管、混料输送管的管路上分别安装有涡轮式电子流量计和电动阀，所述涡轮式电子流量计的信号输出端与流量调节仪的采样信号输入端电连接，所述流量调节仪的控制信号输出端与所述电动阀输入端电连接。本实用新型的优点在于实现刃料的精益生产，使产品的粒度分布离散度小，批次合格率可达95％以上；并且溢流系统集中化、数字化的控制，实现了生产的同一性，保证了批次间产品质量长期稳定性。 【专利类型】实用新型 【申请人】河南醒狮高新技术股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】450001河南省郑州市高新技术产业开发区银屏路12号 【申请人地区】中国 【申请人城市】郑州市 【申请号】CN200620030504.9 【申请日】2006-06-27 【申请年份】2006 【公开公告号】CN2925621Y 【公开公告日】2007-07-25 【公开公告年份】2007 【授权公告号】CN2925621Y 【授权公告日】2007-07-25 【授权公告年份】2007.0 【IPC分类号】B04C5/13; B04C5/00 【发明人】杨东平; 陶牮; 王力 【主权项内容】1、一种半导体材料线切割专用刃料溢流自动控制装置，它包括溢流缸(1)、 收集缸(2)，连通所述溢流缸(1)溢流口与收集缸(2)的溢流管(3)，和与收 集缸(2)相连通的混料输送管(4)，以及与溢流缸(1)相连通的进水管(5)， 其特征在于：在所述进水管(5)、混料输送管(4)的管路上分别安装有涡轮式电 子流量计(6)和电动阀(7)，所述涡轮式电子流量计(6)的信号输出端与流量 调节仪(8)的采样信号输入端电连接，所述流量调节仪(8)的控制信号输出端 与所述电动阀(7)输入端电连接。 【当前权利人】河南晟道科技有限公司 【当前专利权人地址】河南省开封市通许县产业集聚区行政路东段 【专利权人类型】国有企业 【统一社会信用代码】91410100169998232J
