【摘要】 一种镀膜装置，其包括本体、承载体、第一靶电极、第二靶电极以及驱动模组。该本体形成有工作室。该承载体设置在该工作室内，该承载体设置有具有中心轴线的容置通孔，用以收容待镀工件。该第一靶电极与第二靶电极相对设置在该本体上，且位于该承载体的两侧，其分别用以装载第一靶材及第二靶材。该驱动模组设置在该本体上，该驱动模组与承载体机械耦合，其用以驱动该承载体以平行于该容置通孔的中心轴线为轴转动，以使装载在该第一靶电极与第二靶电极上的第一靶材与第二靶材分别对该待镀工件的两个待镀表面进行镀膜。 【专利类型】发明申请 【申请人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】宝安区 【申请号】CN200810305462.9 【申请日】2008-11-10 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101736298A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】C23C14/34; G02B1/10 【发明人】吴佳颖 【主权项内容】一种镀膜装置，其包括：本体、承载体、第一靶电极、第二靶电极以及驱动模组；该本体中形成有工作室；该承载体设置在该工作室内；该第一靶电极与第二靶电极相对设置在该本体上，分别用以装载第一靶材及第二靶材；该驱动模组设置在该本体上；其特征在于：该承载体设置有具有中心轴线的容置通孔，用以收容待镀工件；该第一靶电极与第二靶电极分别设置在该承载体的两侧；该驱动模组与承载体机械耦合，其用以驱动该承载体以平行于该容置通孔的中心轴线为轴转动，以使装载在该第一靶电极与第二靶电极上的第一靶材与第二靶材分别对该待镀工件的两个待镀表面进行镀膜。 【当前权利人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【当前专利权人地址】广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号; 中国台湾新北市土城区中山路66号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】914403007084307436 【引证次数】2.0 【被引证次数】2 【自引次数】1.0 【他引次数】1.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】2
