【摘要】 一种基板表面平坦化系统，用于进行基板表面平坦化，其包括光学检查装置、覆盖层形 成装置以及抛光装置。所述光学检查装置用于扫描得到所述基板表面的影像，并从基板表面 的凹陷中筛选出尺寸大于一预定值的凹陷，即特定凹陷。所述覆盖层形成装置用于在所述特 定凹陷内形成覆盖层。所述抛光装置用于抛光基板表面覆盖层以外的部分，以提高基板表面 的平坦度。本技术方案还提供一种使用该基板表面平坦化系统进行基板表面平坦化的方法。 【专利类型】发明申请 【申请人】富葵精密组件(深圳)有限公司; 鸿胜科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518103广东省深圳市宝安区福永镇塘尾工业区工厂5栋1楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】宝安区 【申请号】CN200810302989.6 【申请日】2008-07-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101636041A 【公开公告日】2010-01-27 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101636041B 【授权公告日】2011-05-11 【授权公告年份】2011.0 【发明人】蔡崇仁; 黄昱程; 张宏毅; 林承贤 【主权项内容】1.一种基板表面平坦化系统，用于进行基板表面平坦化，其包括： 光学检查装置，其用于扫描得到所述基板表面的影像，并从基板表面的凹陷中筛选出 尺寸大于一预定值的凹陷，即特定凹陷； 覆盖层形成装置，其用于在所述特定凹陷内形成覆盖层； 抛光装置，其用于抛光基板表面覆盖层以外的部分，以提高基板表面的平坦度。 （，） 【当前权利人】碁鼎科技秦皇岛有限公司; 臻鼎科技股份有限公司 【专利权人类型】股份有限公司(港澳台与境内合资、未上市) 【统一社会信用代码】9144030070855050X9 【被引证次数】3 【家族被引证次数】3
