【摘要】 本发明揭示一种中介对位光学影像感测装置，供分别撷取位在其两相反侧面的一组受测物及一组检测装置的影像，且受测物及检测装置分别具有多个沿着一个对应中轴镜像对称的基准点，感测装置包括：一组将受测物与检测装置的光学影像转向并整合的光学整合器；及一组接收光学整合器的叠合影像、并辨识多个基准点的光学影像撷取器。将前述感测装置结合基座、输送装置、检测装置、处理装置与缓冲分类装置，结合为检测机台，且利用精密的测试承载盘容置多个受测物，非常适用于高精度半导体元件的自动检测，可大幅提升检测效率与品质。 【专利类型】发明申请 【申请人】中茂电子(深圳)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518054 广东省深圳市南山区登良路南油天安工业村4号厂房8楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】南山区 【申请号】CN200810172681.4 【申请日】2008-11-07 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101738504A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G01R1/02; G01R31/26; H01L21/66 【发明人】林汉声 【主权项内容】一种中介对位光学影像感测装置，供分别撷取位在其两相反侧面的受测物及检测装置影像，且该受测物及该检测装置分别具有多个沿着一个对应中轴镜像对称的基准点，该感测装置包括：将该受测物与该检测装置的光学影像转向并整合的光学整合器；及接收该光学整合器的叠合影像、并辨识上述基准点的光学影像撷取器。。： 【当前权利人】中茂电子(深圳)有限公司 【当前专利权人地址】广东省深圳市南山区登良路南油天安工业村4号厂房8楼 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳法人独资) 【统一社会信用代码】91440300618932715B
