【摘要】 本发明涉及基于微纳MEMS/NEMS加工技术与仿生学原理的微纳仿生矢量水声传感器，具体是一种微纳仿生矢量水声传感器的封装结构。通过封装结构进一步提高和完善了矢量水声传感器的性能指标，该封装结构包括用于固定微纳仿生矢量水声传感器的支持体、罩于微纳仿生矢量水声传感器外并与支持体密封固定的封装壳体，封装壳体内注满有与水密度相同或相近的绝缘液体，所述封装壳体为采用高频低衰减低渗水的聚氨酯灌封材料以声学灌封工艺制成的透声橡胶帽。根据仿生学原理设计，结构合理，在保护水声传感器微结构的同时，不会影响和妨碍水声传感器微结构对声信号的检测，达到了进一步提高和完善矢量水声传感器性能指标的目的。 【专利类型】发明授权 【申请人】中北大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号 【申请人地区】中国 【申请人城市】太原市 【申请人区县】尖草坪区 【申请号】CN200810079372.2 【申请日】2008-09-08 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101354283B 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101354283B 【授权公告日】2010-06-16 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01H11/06; G01S7/521 【发明人】薛晨阳; 张文栋; 熊继军; 张斌珍; 张国军; 陈尚; 张开锐 【主权项内容】一种微纳仿生矢量水声传感器的封装体，其特征在于：包括用于固定微纳仿生矢量水声传感器的支持体、罩于微纳仿生矢量水声传感器外并与支持体密封固定的封装壳体，封装壳体内注满有与水密度接近的绝缘液体，所述封装壳体为采用高频低衰减低渗水的聚氨酯灌封材料以声学灌封工艺制成的透声橡胶帽(14)；所述支持体分为外部支持体、由绝缘材料制成的用于直接固定微纳仿生矢量水声传感器的内部支持体(16)，外部支持体分为固定支持体(17)、通过防水接头(18)与固定支持体(17)连接固定的引线支持体(19)，引线支持体(19)内置与水声传感器相连的导线，内部支持体(16)固定于固定支持体(17)上，引线支持体(19)尾端设有与上述导线连接的引出电缆(20)。 【当前权利人】中北大学 【当前专利权人地址】山西省太原市尖草坪区学院路3号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12140000405747348X 【引证次数】7.0 【被引证次数】7 【自引次数】3.0 【他引次数】4.0 【被自引次数】5.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】27
