【摘要】 本发明涉及基于集成面环形微腔与悬臂梁的微位移传感器，它包括平面环形微腔、光波导、基底、与光波导相连的入射光纤及出射光纤，所述平面环形微腔与光波导的光相耦合；其特点是所述微位移传感器还有悬臂梁与探针，悬臂梁的一端连接在基底上，另一端为自由端；所述探针在悬臂梁的下表面自由端前部中间位置，悬臂梁和探针均用刻蚀形成；所述平面环形微腔与光波导均被刻蚀在悬臂梁的上表面；是利用现代MEMS加工技术制成的，可适用于磁场环境复杂，真空环境，被测物体范围广，除普通的金属，非金属物质表面外，也可对生物细胞进行表面测量。其测量精度可达10-4埃。 【专利类型】发明授权 【申请人】中北大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】030051 山西省太原市学院路3号 【申请人地区】中国 【申请人城市】太原市 【申请人区县】尖草坪区 【申请号】CN200810079473.X 【申请日】2008-09-25 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101387496B 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101387496B 【授权公告日】2010-06-16 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01B11/02; B81B7/02 【发明人】张文栋; 熊继军; 薛晨阳; 闫树斌; 吉喆; 严英占; 王少辉; 王宝花; 姜国庆 【主权项内容】一种基于集成平面环形微腔与悬臂梁的微位移传感器，包括平面环形微腔(1)、光波导(2)、基底(5)、与光波导相连的入射光纤(6)及出射光纤(7)，所述平面环形微腔与光波导的光相耦合，平面环形微腔与光波导之间存在有0～2μm距离；其特征在于：所述微位移传感器还有悬臂梁(3)与探针(4)，悬臂梁的一端连接在基底上，另一端为自由端；所述探针在悬臂梁的下表面自由端前部中间位置，悬臂梁和探针均用刻蚀形成；所述平面环形微腔与光波导均被刻蚀在悬臂梁的上表面。 【当前权利人】中北大学 【当前专利权人地址】山西省太原市学院路3号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12140000405747348X 【引证次数】5.0 【被引证次数】2 【他引次数】5.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】16
