【摘要】 本发明公开一种大面积微纳树状结构阵列的表面增强拉曼活性基底的制备方法，是先制备大面积硅微米柱阵列；采用纳米组装技术在所述的硅微米柱阵列上生长纳米棒，得到三维有序周期微纳结构阵列；再采用水热合成方法在三维有序周期微纳结构阵列内镶嵌不同形貌的金属纳米颗粒。本发明的SERS活性基底可以大面积至厘米级的均一化。本发明将SERS活性热粒子设计在三维有序微纳结构之上，集“天线”增强效应、金属/半导体交叉增强效应以及缝隙增强效应等于一身，具有高灵敏的SERS活性，并且SERS活性热粒子牢固嵌在树状微纳结构中，使之既适合痕量液相分析物SERS测试，也适合痕量气相分析物的SERS测试。。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院合肥物质科学研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】230031 安徽省合肥市蜀山湖路350号1130信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】合肥市 【申请人区县】蜀山区 【申请号】CN200810100562.8 【申请日】2008-05-12 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101281133B 【公开公告日】2010-08-18 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101281133B 【授权公告日】2010-08-18 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01N21/65; B81C1/00 【发明人】赵爱武; 梅涛; 王大朋; 倪林 【主权项内容】一种具有大面积微纳树状结构阵列的表面增强拉曼活性基底的制备方法，其特征在于依次包括以下步骤：(1)、大面积硅微米柱阵列的制备：a、采用紫外光刻技术在硅片上实现微米点阵图案；b、采用等离子干法刻蚀技术在所述的硅片上制备硅微米柱阵列；(2)、采用纳米组装技术在所述的硅微米柱阵列上大面积均匀生长Zn0纳米棒，得到三维有序周期微纳结构阵列；(3)、采用水热合成方法在三维有序周期微纳结构阵列内镶嵌不同形貌的金属纳米颗粒。 【当前权利人】中国科学院合肥物质科学研究院 【当前专利权人地址】安徽省合肥市庐阳区三十岗乡古城路181号 【统一社会信用代码】121000007178068020 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】71
