【摘要】 本发明公开了一种透明封装介质下微结构的表面形貌测量系统和方法。该系统包括LED点光源或激光光源、扩束准直透镜组、光阑、分光棱镜、测量物镜、参考物镜、平面参考反射镜、光程补偿板、纳米定位仪、纳米定位仪控制器、数字摄像机、光学成像镜头、数字图像采集卡、三维电控位移台、数据处理和控制计算机；所述的测试方法，其过程包括补偿光学平板厚度的匹配选择、测量和参考光路之间光程差分布的补偿。本发明的优点在于：利用林尼克显微干涉结构所具有的长工作距离和分光路结构特点，在对透明封装介质下微结构测量时可获得对比度好的干涉图像，从而实现表面形貌的精确测量。。数据由整理 【专利类型】发明授权 【申请人】天津大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】300072 天津市南开区卫津路92号 【申请人地区】中国 【申请人城市】天津市 【申请人区县】南开区 【申请号】CN200810154188.X 【申请日】2008-12-17 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101435698B 【公开公告日】2010-08-25 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101435698B 【授权公告日】2010-08-25 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01B11/24 【发明人】胡晓东; 郭彤; 傅星; 胡小唐 【主权项内容】一种透明封装介质下微器件的表面形貌测量方法，该测量方法采用的测量系统包括：用于完成干涉图像的采集、处理与分析的装置，林尼克相移显微干涉仪及放置透明封装介质下微器件的三维电控位移台，为了提高微器件表面形貌的测量准确度，要考虑所插入透明封装介质和补偿光学平板之间差异对干涉图像上位相的影响，其特征在于包括以下步骤：(1)在对微器件进行封装之前将透明封装板放置在测量物镜之下，透明封装板下面再放置一块标准平面反射镜，调整透明封装板与标准平面反射镜之间的间距，使得与微器件封装后被测表面和透明封装板之间的间距基本相同；(2)在参考物镜和平面参考反射镜之间依次插入与透明封装介质厚度相近且各不相同的光程补偿平板，记录不同厚度光程补偿板下的干涉图像；(3)对步骤(2)得到的不同厚度光程补偿板下的干涉图像进行比较，选择干涉图像中暗条纹与亮条纹灰度差最大时的光程补偿板用于后续表面形貌测量；(4)将放置在测量物镜下标准平面反射镜通过三维电控位移台进行聚焦而清晰成像，利用相移干涉法计算出标准平面反射镜的表面形貌，计算出标准平面反射镜的表面形貌将不是平面，而其偏差则是测量光路和参考光路之间光程差的分布，保存该数据以用于后续其他被测对象表面形貌测量数据的补偿；(5)用上述步骤使用的透明封装板对微器件进行封装，将透明封装介质下的微器件放置在测量物镜下并准确聚焦，利用相移干涉法计算出被测微器件的表面形貌，并用步骤(4)得到的光程差分布数据进行数据补偿而得到被测微器件真实的表面形貌。 【当前权利人】天津大学 【当前专利权人地址】天津市津南区海河教育园区雅观路135号天津大学北洋园校区 【统一社会信用代码】12100000401359321Q 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】22
