【摘要】 一种基于MEMS工艺的微夹钳及控制系统。该微夹钳由静电力驱动器、力传感器和两个操作臂组成，左臂为驱动臂，力驱动采用静电梳齿驱动结构，右臂为力反馈臂，力传感采用了梳齿电容检测结构。根据微夹钳的机械结构，设计了微夹钳的控制电路，其中包括三个主要部分：力反馈测量电路，驱动电压输出电路，中央处理单元电路。中央处理单元采集力反馈测量单元检测到的夹持力的大小，采用PID控制算法，控制驱动电压输出的大小，即控制微夹钳开口的状态，以完成对纳米级操作对象的操作。此微夹钳结构简单、紧凑，体积小，使用灵活，控制精度高，能够完成高精度的夹持工作，适应性强。 【专利类型】发明授权 【申请人】南开大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】300071 天津市南开区卫津路94号 【申请人地区】中国 【申请人城市】天津市 【申请人区县】南开区 【申请号】CN200810153093.6 【申请日】2008-11-14 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101407060B 【公开公告日】2010-11-17 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101407060B 【授权公告日】2010-11-17 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】B25J3/04; B25J9/08; B25J9/16; B81C5/00; B81C99/00 【发明人】赵新; 卢桂章; 车秀阁 【主权项内容】一种基于MEMS工艺的微夹钳，其特征在于该微夹钳包括基体，基体一端是由横向梳齿对构成的静电力驱动器，基体的另一端是由竖向梳齿对构成的力传感器，基体中部，即静电力驱动器与力传感器之间，是由驱动臂和力反馈臂组成的双臂；所述的驱动臂在驱动器的静电力作用下产生偏转，使钳口闭合；钳口闭合后，力反馈臂将感受到的力转化为梳齿对电容量的变化，电容量的变化即反应夹持力的大小。 【当前权利人】南开大学 【当前专利权人地址】天津市津南区海河教育园同砚路38号 【统一社会信用代码】121000004013593721 【引证次数】7.0 【被引证次数】3 【他引次数】7.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】12
