【摘要】 本发明属于超微小力值计量与测量技术领域，涉及一种微牛/纳牛级超微力值测量装置，包括杠杆，杠杆的一端为承载盘，另一端悬挂有弹簧，弹簧的另一端固定有内电极，所述内电极的上部设置有限制其沿z轴以外的运动自由度的机构，下部为圆筒形，在所述内电极下部外面套有外电极，所述外电极为与所述内电极的下部圆筒形同轴的圆筒形，其内径大于所述内电极下部圆筒形的外径，在所述外电极的另一端设置有用于测量内电极位移量的激光干涉仪。本发明同时提供一种超微小力值溯源方法，本发明提供的测量装置，其精度能够满足力值最高标准的需要，可以用来标定如探针型测力传感器、表面张力传感器以及在微机电系统、生物芯片制造技术中的微力检测器等。 【专利类型】发明授权 【申请人】天津大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】300072 天津市南开区卫津路92号天津大学 【申请人地区】中国 【申请人城市】天津市 【申请人区县】南开区 【申请号】CN200810053829.2 【申请日】2008-07-11 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101319980B 【公开公告日】2010-12-22 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101319980B 【授权公告日】2010-12-22 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01N13/00; G01N13/16; G01L5/00; G01L25/00; G01Q40/00 【发明人】齐永岳; 林玉池; 赵美蓉; 付鲁华; 黄银国; 宋乐 【主权项内容】一种微牛/纳牛级超微力值测量装置，包括杠杆，杠杆的一端为承载盘，另一端悬挂有弹簧，弹簧未连接杠杆的一端固定有内电极，所述内电极的上部设置有限制其沿中心对称轴以外的运动自由度的机构，下部为圆筒形，在所述内电极下部外面套有外电极，所述外电极为与所述内电极的下部圆筒形同轴的圆筒形，其内径大于所述内电极下部圆筒形的外径，在所述外电极的与套有内电极一端相对的另一端设置有用于测量内电极位移量的激光干涉仪，所述测量装置还带有平衡位置定位装置，所述平衡位置定位装置由两个探针构成，第一探针固定在内电极上并垂直于内电极下部圆筒的中轴线，第二探针设置在靠近第一探针平衡位置的位置，当所述的第一探针处于平衡位置时，两个探针之间存在气隙。 【当前权利人】天津大学 【当前专利权人地址】天津市南开区卫津路92号天津大学 【统一社会信用代码】12100000401359321Q 【家族被引证次数】24
