【摘要】 一种线状激光窄带滤光PSD热辐射板厚测量方法。该测量方法通过线状激光器发出激光照射到样品表面，从样品表面漫反射回的光，经窄带滤光片和透镜后射到PSD光敏面上，在光的作用下PSD两测输出两路电流信号，对PSD输出的电流信号进行处理，得出测量的厚度。测量系统采用双光路结构光学差动测量法，该方法对测量系统由于角度倾斜引起的角度偏差具有一定的补偿作用，比较适合在恶劣的工业生产环境进行实时非接触测量。 （，） 【专利类型】发明授权 【申请人】天津大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】300072 天津市南开区卫津路92号 【申请人地区】中国 【申请人城市】天津市 【申请人区县】南开区 【申请号】CN200810152457.9 【申请日】2008-10-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101373134B 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101373134B 【授权公告日】2010-06-23 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01B11/06 【发明人】刘铁根; 张铫; 阳鑫; 李宝强; 江俊峰 【主权项内容】一种线状激光窄带滤光PSD热辐射板厚测量方法，其特征是该方法依次包括：第一、测量光路的设置与校准，将已知厚度h的标准样品放置于移动架上，在标准样品两侧对称安置一对或两对测厚探头，测厚探头内部集成有线状激光器、窄带滤光片、透镜、PSD位置传感器及信号处理电路板；令测厚探头内部的线状激光器发出线状激光并射到标准样品上，反射回来的激光经探头内部窄带滤光片再经透镜会聚，最后在PSD上形成光斑，调整激光的入射角度使光斑位于PSD中心；第二、将标准样品换成待测样品，令测厚探头内部的线状激光器发出的线状激光射到待测样品上，反射回来的激光在PSD上形成光斑，并在PSD两端各输出两路电流I1、I2；第三、电流信号与电压信号的转换，通过信号处理电路板中的处理电路把电流信号转变为电压信号并对其进行放大，转换关系式为U1＝K1I1、U2＝K2I2，其中U1、U2为转换后输出的电压信号、I1、I2为从PSD两端输出的电流，K1、K2为与信号处理电路有关的常数；第四、光斑偏离PSD中心距离x或y的计算，将信号处理电路板输出的电压信号U1、U2输入到DSP数字信号处理系统，由公式或得出光斑偏离PSD中心的距离x或y，其中L为PSD光敏面长度；第五、待测样品上下表面与标准样品对应的上下表面之间距离的计算，根据上步得到的光斑偏离PSD中心的距离x或y，可以得出待测样品上下表面与标准样品对应的上下表面之间的距离第六、计算待测样品厚度H，按照公式即可得出待测样品的厚度，其中h为标准样品厚度，分别为上步得到的待测样品上下两表面相对标准样品对应的上下两表面的距离。F2008101524579C00011.tif, F2008101524579C00012.tif, F2008101524579C00013.tif, F2008101524579C00014.tif, F2008101524579C00015.tif 【当前权利人】天津大学 【当前专利权人地址】天津市津南区海河教育园区雅观路135号天津大学北洋园校区 【统一社会信用代码】12100000401359321Q 【引证次数】5.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】15
