【摘要】 本发明公开了一种靶盘冷却装置，该装置包括了一靶盘体、一环形铜管、一固定块、两连接螺钉、两密封圈。所述的靶盘体有冷却液进口和出口，冷却液在靶盘体内流动，然后流出靶盘体，流进环形铜管，并流回靶盘体，最后从出口流到散热器。环形铜管安装在靶盘体的凹槽中。通过循环的冷却液带走靶盘的热量，从而降低晶片的温度。说明书对装置工作原理进行了详细的说明。并给出了具体的实施方案。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京中科信电子装备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】101111 北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】通州区 【申请号】CN200810224647.7 【申请日】2008-10-22 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101728205A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】H01J37/317; H01J37/02; H01L21/265 【发明人】孙勇; 彭立波; 胡振东 【主权项内容】一种靶盘冷却装置，该装置包括了一靶盘体、一环形铜管、一固定块、两连接螺钉、两密封圈。所述的靶盘体冷却液的有进出口，冷却液在靶盘体中流动，流进环形铜管，并流回靶盘体，最后从出口流到散热器。环形铜管安装在靶盘体的凹槽中，通过循环的冷却液带走靶盘的热量，从而降低晶片的温度。 【当前权利人】北京中科信电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【专利权人类型】有限责任公司(法人独资) 【统一社会信用代码】911101127513429762 【被引证次数】3 【被自引次数】2.0 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】3
