【摘要】 一种半导体生产中掺杂剂的称量系统，它包括：多台电子秤，计算机， 打印机，所述的电子秤与计算机之间接串口扩张卡，卡的一端为接口，该 接口接电子秤数据传输线，另一端为输出端，该输出端接电脑主机，电子 秤与电脑的数据传输采用标准的TCP/IP协议，计算机接带不干胶带的打 印机。本系统的优点是：称量准确、快速，可避免不同掺杂剂在称量时产 生的交叉污染。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京有色金属研究总院; 有研半导体材料股份有限公司; 国泰半导体材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100088北京市新街口外大街2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】西城区 【申请号】CN200810116568.4 【申请日】2008-07-11 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101625253A 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【发明人】方峰; 高恺; 邓德辉; 郑沉; 张楠 【主权项内容】1、一种半导体生产中掺杂剂的称量系统，其特征在于：它包括：多 台电子秤，计算机，打印机，所述的电子秤与计算机之间接串口扩张卡， 卡的一端为接口，该接口接电子秤数据传输线，另一端为输出端，该输出 端接电脑主机，电子秤与电脑的数据传输采用标准的TCP/IP协议，计算 机接带不干胶带的打印机。 【当前权利人】有研半导体材料股份有限公司; 国泰半导体材料有限公司 【当前专利权人地址】北京市西城区新街口外大街2号; 【专利权人类型】股份有限公司; 有限责任公司(法人独资) 【统一社会信用代码】; 【被引证次数】2 【家族被引证次数】2
