【摘要】 本发明公开了一种硅片优化调度的方法，包括：步骤a、获取宏观传输序列；步骤b、将所述宏观传输序列变换为多个子任务序列；步骤c、在任务运行时，分别从各个子任务序列中选取至少一个子任务；步骤d、依据预置规则，在能够顺畅执行的前提下，选取其中优先级最高的一个子任务加以执行；步骤e、重复上述步骤c和步骤d，完成对硅片的传输和处理。本发明在宏观传输序列基础上，对更底层的微观传输序列执行策略进行了优化，提高子任务执行的并发度，提高了Job的执行效率，进而提高了机台的产率。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810239832.3 【申请日】2008-12-12 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101751025A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101751025B 【授权公告日】2012-06-06 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G05B19/418 【发明人】易璨 【主权项内容】一种硅片优化调度的方法，其特征在于，包括：步骤a、获取宏观传输序列；步骤b、将所述宏观传输序列变换为多个子任务序列；步骤c、在任务运行时，分别从各个子任务序列中选取至少一个子任务；步骤d、依据预置规则，在能够顺畅执行的前提下，选取其中优先级最高的一个子任务加以执行；步骤e、重复上述步骤c和步骤d，完成对硅片的传输和处理。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】10 【被自引次数】6.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】10
